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新松LoadPort晶圆装载装置
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新松LoadPort晶圆装载装置

LoadPort是新松公司自主研发的一种晶圆装载装置，可安装在EFFM上，适用于8寸和12寸晶圆盒的装载，具备准确的mapping功能，可自动识别盒内晶圆各槽状态，如单片、跨片、异常片，通过独创的开关门机构和精确的运动控制，实现了高清洁性能，同时具有良好的稳定性和速度。

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商品描述

LoadPort是新松公司自主研发的一种晶圆装载装置，可安装在EFFM上，适用于8寸和12寸晶圆盒的装载，具备准确的mapping功能，可自动识别盒内晶圆各槽状态，如单片、跨片、异常片，通过独创的开关门机构和精确的运动控制，实现了高清洁性能，同时具有良好的稳定性和速度。

　　LoadPort是新松公司自主研发的一种晶圆装载装置，可安装在EFFM上，适用于8寸和12寸晶圆盒的装载，具备准确的mapping功能，可自动识别盒内晶圆各槽状态，如单片、跨片、异常片，通过独创的开关门机构和精确的运动控制，实现了高清洁性能，同时具有良好的稳定性和速度。

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