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LoadPort是新松公司自主研发的一种晶圆装载装置,可安装在EFFM上,适用于8寸和12寸晶圆盒的装载,具备准确的mapping功能,可自动识别盒内晶圆各槽状态,如单片、跨片、异常片,通过独创的开关门机构和精确的运动控制,实现了高清洁性能,同时具有良好的稳定性和速度。
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