​​​​​​​智能装备行业门户网
品牌　【活动 访谈】  50强 　　整机　​【联盟】　机构　【视界】　展会　【招聘】　云服务　  微博 　 　 关注公众号
机械手
配件
搬运机器人
软件/系统
无人车
服务机器人
AGV/AMR
咨询热线400-0756-518
今日焦点
物流机器人
潜入式AGV
|
全向轮AGV
|
重载式AGV
|
牵引式AGV
|
分拣AGV
|
料箱机器人
|
穿梭车
|
复合机器人
|
龙门机器人
工业机器人
多关节机器人
|
水平关节机器人
|
并联机器人
|
坐标机器人
|
焊接机器人
|
喷涂机器人
|
码垛机器人
|
协作机器人
​​​金陵智造AGV舵轮
PRODUCT/ 产品中心
多可：在制品线边库（ASRS/Stocker）
❤ 收藏

多可：在制品线边库（ASRS/Stocker）

由于300mm半导体 Fab工程复杂，而且根据制程不同布局一般分布式布局各个工艺制程，集中式分部同种类型设备，各个工艺间或设备之间的工程时间(Process time)不同，因此在完成整个工艺制程之前，需要很多的线边缓存WIP(Work In Process)被储存在Fab内。来使各工艺设备达到最高效率的最大生产能力。 Stocker System 不仅具有储存功能，为了和其他自动化设备更好的连接，具备OHT和 ARV的自动对接口以及人工上下料口。来兼容人工和其他自动化设备的出入库功能。随着纳米制程的微量化的发展，为了防止载具内的 Wafer污染，还采用N2 Purge功能，隔绝氧气，控制湿度，保护载具内的晶圆安全。

同时stocker的设计上遵守Cleanroom Standard(FED-209E) 和 SEMI E88(Stocker SEM) Standard。


￥0.00
￥0.00
￥0.00
￥0.00
重量：0.00KG
商品描述

由于300mm半导体 Fab工程复杂，而且根据制程不同布局一般分布式布局各个工艺制程，集中式分部同种类型设备，各个工艺间或设备之间的工程时间(Process time)不同，因此在完成整个工艺制程之前，需要很多的线边缓存WIP(Work In Process)被储存在Fab内。来使各工艺设备达到最高效率的最大生产能力。 Stocker System 不仅具有储存功能，为了和其他自动化设备更好的连接，具备OHT和 ARV的自动对接口以及人工上下料口。来兼容人工和其他自动化设备的出入库功能。随着纳米制程的微量化的发展，为了防止载具内的 Wafer污染，还采用N2 Purge功能，隔绝氧气，控制湿度，保护载具内的晶圆安全。

同时stocker的设计上遵守Cleanroom Standard(FED-209E) 和 SEMI E88(Stocker SEM) Standard。


使工艺设备达到最高效率的最大生产能力

　　由于300mm半导体 Fab工程复杂，而且根据制程不同布局一般分布式布局各个工艺制程，集中式分部同种类型设备，各个工艺间或设备之间的工程时间(Process time)不同，因此在完成整个工艺制程之前，需要很多的线边缓存WIP(Work In Process)被储存在Fab内。来使各工艺设备达到最高效率的最大生产能力。 Stocker System 不仅具有储存功能，为了和其他自动化设备更好的连接，具备OHT和 ARV的自动对接口以及人工上下料口。来兼容人工和其他自动化设备的出入库功能。随着纳米制程的微量化的发展，为了防止载具内的 Wafer污染，还采用N2 Purge功能，隔绝氧气，控制湿度，保护载具内的晶圆安全。
同时stocker的设计上遵守Cleanroom Standard(FED-209E) 和 SEMI E88(Stocker SEM) Standard。


在线订购：
姓 名
电 话*
邮 箱*
内 容
提交

服务热线


联系电话：135-1272-6426    188-0319-7535

座机：0319-7596975


在线咨询