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优艾智合|打造半导体工厂智慧物流“毛细血管”
来源:优艾智合 | 作者:优艾智合 | 发布时间: 524天前 | 588 次浏览 | 分享到:
晶圆仓与洁净室Stocker之间,高速的OHT系统连接,主要覆盖Inter Bay,是生产物流“大动脉”;


Fully Auto有门道。

晶圆仓与洁净室Stocker之间,高速的OHT系统连接,主要覆盖Inter Bay,是生产物流“大动脉”;

在Stocker与E-Rack再到机台上下料环节,采用AMR,覆盖Intra Bay,是工厂里的物流“毛细血管”。

Inter Bay上主打一个快,Intra Bay中讲究一个细腻。

AMR与OHT互为补充,共同铺开半导体生产的智能化升级通路。

集群调度

支持1000+AMR共场作业

多机型协同调度

全景覆盖

全治具搬运

强辐射、高洁净、高震动场景适配

系统兼容

智慧生产系统协同打通

实现整场智慧物流建设



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